[实用新型]用于芯片卷的烧制热封设备有效
申请号: | 201922199229.3 | 申请日: | 2019-12-10 |
公开(公告)号: | CN210925958U | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
发明(设计)人: | 张俞峰 | 申请(专利权)人: | 昆山沃得福自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B65B51/10 |
代理公司: | 北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491 | 代理人: | 赵红霞 |
地址: | 215300 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型揭示了用于芯片卷的烧制热封设备,包括机台、支撑基台、分设在支撑基台两侧的芯片卷放卷机构和芯片卷收卷机构,芯片卷放卷机构包括放卷部、及揭膜回收部,芯片卷收卷机构包括封膜放卷部、设置在支撑基台上的用于对料带进行封膜热压复合的热封部、及收卷部,机台上设有位于支撑基台旁侧的烧制机构、及用于在支撑基台与烧制机构之间位置切换的IC芯片拾取机构。本实用新型能实现对芯片卷的放卷、揭膜、芯片运转烧制、回舱热压封膜、收卷连续作业,满足芯片卷拆封烧制回封的工艺需求,运行流畅,全程自动化作业。通过烧制机构的双工位设计,能满足工位切换需求,缩短烧制时间,提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 用于 芯片 烧制 设备 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造