[实用新型]用于芯片卷的烧制热封设备有效

专利信息
申请号: 201922199229.3 申请日: 2019-12-10
公开(公告)号: CN210925958U 公开(公告)日: 2020-07-03
发明(设计)人: 张俞峰 申请(专利权)人: 昆山沃得福自动化设备有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;B65B51/10
代理公司: 北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491 代理人: 赵红霞
地址: 215300 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型揭示了用于芯片卷的烧制热封设备,包括机台、支撑基台、分设在支撑基台两侧的芯片卷放卷机构和芯片卷收卷机构,芯片卷放卷机构包括放卷部、及揭膜回收部,芯片卷收卷机构包括封膜放卷部、设置在支撑基台上的用于对料带进行封膜热压复合的热封部、及收卷部,机台上设有位于支撑基台旁侧的烧制机构、及用于在支撑基台与烧制机构之间位置切换的IC芯片拾取机构。本实用新型能实现对芯片卷的放卷、揭膜、芯片运转烧制、回舱热压封膜、收卷连续作业,满足芯片卷拆封烧制回封的工艺需求,运行流畅,全程自动化作业。通过烧制机构的双工位设计,能满足工位切换需求,缩短烧制时间,提高了生产效率。
搜索关键词: 用于 芯片 烧制 设备
【主权项】:
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