[实用新型]一种水平光伏扩散自动化设备有效
| 申请号： | 201922196287.0 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN210692565U | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 林佳继;庞爱锁;马力 | 申请（专利权）人： | 拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 常州市科谊专利代理事务所 32225 | 代理人： | 孙彬 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种水平光伏扩散自动化设备，包括第一工作模块和第二工作模块，第一工作模块包括第一框架、对接输送机和石英舟搬运机构，第二工作模块包括第二框架、石英舟周转机构、分合片机构、取方阻片机构和装卸料机构。本实用新型能够提供自动化生产、自动化测试的功能，自动化程度高、节能环保具有一定的市场竞争优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 水平 扩散 自动化 设备 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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