[实用新型]硅片制绒装置

摘要

本申请提供了一种硅片制绒装置，包括花篮、机械臂、第一反应槽与第二反应槽，所述机械臂或第一反应槽上设有限位杆。所述机械臂用以将所述花篮放入、提出第一反应槽，所述第一反应槽用以对放置在所述花篮内的硅片进行第一次表面处理，所述第二反应槽用以对放置在所述花篮内的硅片进行第二次表面处理，所述硅片进行第一次表面处理过程中，所述限位杆位于所述硅片上方，限制硅片移动。本申请硅片制绒装置既能有效避免硅片第一次表面处理过程中出现漂浮移动，又能避免限位杆在后续制程中影响硅片表面处理的均匀性，改善制绒效果与硅片外观。