[实用新型]一种离子注入浓度调节装置有效
| 申请号： | 201922120883.0 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN210575821U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 李真宇;韩智勇;罗具廷;张秀全;薛海蛟 | 申请（专利权）人： | 济南晶正电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/30 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 250100 山东省济南市高新区港*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请提供的离子注入浓度调节装置中，在离子束扫描模块和基片之间设置离子浓度调整装置，离子浓度调整装置包括外框和扇叶，扇叶在外框齿轮的啮合作用下转动，扇叶旋转时在距离中心不同距离处对扫描后的离子束起到不同程度的分时遮挡效果；设计特定的扇叶形状就可以起到特定调节效果。例如设计从中心到边缘逐渐变窄的扇叶，扇叶旋转时离子被扇叶吸收，则从中心到边缘处被扇叶吸收的离子数目呈现出增加趋势，因此离子通道的边缘处离子密度大，进而离子浓度高，而离子通道的中间离子密度小，进而离子浓度低，进而实现了离子注入浓度从离子通道的边缘至中心逐渐减小的趋势，退火剥离时应力的释放就会被分散，进而避免薄膜层碎片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 浓度 调节 装置 | ||
【主权项】：
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