[实用新型]一种离子注入浓度调节装置有效
| 申请号： | 201922120883.0 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN210575821U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 李真宇;韩智勇;罗具廷;张秀全;薛海蛟 | 申请（专利权）人： | 济南晶正电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/30 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 250100 山东省济南市高新区港*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 浓度 调节 装置 | ||
1.一种离子注入浓度调节装置，设置于离子注入机的离子通道(8)内，所述离子通道(8)的一端设有离子束扫描模块(1)，另一端放置基片(3)，其特征在于，包括：
所述离子束扫描模块(1)和所述基片(3)之间设有离子浓度调整装置(2)；
所述离子浓度调整装置(2)包括外框(21)和均匀分布于所述外框(21)内的扇叶(22)，围绕各所述扇叶(22)的最外侧设有外周圆框(6)；
所述扇叶(22)的宽度沿所述外框(21)的中心向边缘处递减，或者按照预设函数关系的变化而变化；
所述外框(21)通过转轴(4)与固定杆(5)活动连接；
所述外框(21)的外表面设有齿轮(7)，电机(10)用于带动所述齿轮(7)转动；
所述外框(21)与所述扇叶(22)的外周圆框(6)通过空气轴承或磁悬浮连接。
2.根据权利要求1所述的离子注入浓度调节装置，其特征在于，所述外框(21)的中心位置设有离子孔(23)，所述扇叶(22)沿所述离子孔(23)均匀设置。
3.根据权利要求1所述的离子注入浓度调节装置，其特征在于，所述扇叶(22)设为三角形扇叶或树叶形扇叶。
4.根据权利要求1所述的离子注入浓度调节装置，其特征在于，所述扇叶(22)的表面设置石墨层。
5.根据权利要求1所述的离子注入浓度调节装置，其特征在于，所述扇叶(22)距离旋转中心的长度大于或等于注入所述基片(3)的半径。
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