[实用新型]一种处理籽晶的装置有效
| 申请号： | 201922043834.1 | 申请日： | 2019-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN212103064U | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 匡怡君 | 申请（专利权）人： | 上海联兴商务咨询中心 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 北京市海问律师事务所 11792 | 代理人： | 陈吉云;张占江 |
| 地址： | 201499 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种处理籽晶的装置，所述装置包括石墨盘片、坩埚和支撑架，所述石墨盘片具有多个通孔，所述支撑架包括支撑架壁和主体部分，其中主体部分包括支撑臂、托架和中心空洞。通过调节温度、压力以及处理时间，在籽晶的下表面(非生长面)与石墨盘片之间生长一层很薄的致密碳化硅层，从而起到籽晶与石墨盘片粘接的作用。本实用新型提供籽晶处理装置可以做到批量处理籽晶的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 处理 籽晶 装置 | ||
【主权项】：
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