[实用新型]多光谱微观三维形貌检测装置有效
| 申请号： | 201922043481.5 | 申请日： | 2019-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN210741401U | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 叶一青;易定容;孔令华;蒋威;朱星星 | 申请（专利权）人： | 宁波五维检测科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 成都时誉知识产权代理事务所(普通合伙) 51250 | 代理人： | 王杰 |
| 地址： | 315000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种多光谱微观三维形貌检测装置，该装置包括：复色光照明模块、纵向色散增强型光学成像模块，所述复色光照明模块按照光路传播方向依次设置有：复色光源、聚光镜、均匀准直光透镜组、半反半透分光镜、带纵向色散的物镜；所述纵向色散增强型光学成像模块按照光路传播方向依次设置有：轴向高度可调节样品台、带纵向色散的物镜、半反半透分光镜、带纵向色散的管镜、多光谱图像传感器、图像显示与分析模块。该多光谱微观三维形貌检测装置能实现在无机械运动情况下，一次成像即可获取高横向分辨率、亚微米量级高纵向测量精度、毫米量级大纵向测量范围的微观三维形貌检测，兼具高测量效率和高测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱 微观 三维 形貌 检测 装置 | ||
【主权项】：
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