[实用新型]一种氮化硅陶瓷基片多方向研磨抛光机有效
申请号: | 201922014145.8 | 申请日: | 2019-11-20 |
公开(公告)号: | CN210879179U | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 黄安基 | 申请(专利权)人: | 福建省南安市宏炜新材料有限公司 |
主分类号: | B24B37/11 | 分类号: | B24B37/11;B24B37/27;B24B37/34;B24B55/03 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 362000 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型涉及研磨抛光机,具体涉及一种氮化硅陶瓷基片多方向研磨抛光机,包括底座,底座为方体结构,底座上设有抛光槽,抛光槽包括抛光槽环和抛光槽底盘,抛光槽底盘上端表面设有第一研磨纹路,抛光槽环侧壁内侧环绕连续性设有竖直方向的第一齿槽;抛光槽中部设有动力圆盘,动力圆盘为圆柱形结构,动力圆盘外侧面环绕连续性设有竖直方向的第二齿槽;抛光槽内设有复数个研磨盘,研磨盘为圆盘形结构,研磨盘边缘环绕连续性设有竖直方向的第三齿槽,研磨盘直径方向一端与第一齿槽啮合,研磨盘直径方向另一端与第二齿槽啮合;本实用新型其研磨抛光度高,能同时在多个方向同时对陶瓷基片进行精度研磨抛光,同时,具有高速的抛光速度。 | ||
搜索关键词: | 一种 氮化 陶瓷 多方 研磨 抛光机 | ||
【主权项】:
暂无信息
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