[实用新型]微型流体致动器有效
| 申请号： | 201921988051.4 | 申请日： | 2019-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN210949070U | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 莫皓然;戴贤忠;方麟辉;韩永隆;黄启峰;郭俊毅;林宗义 | 申请（专利权）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F04B45/047 | 分类号： | F04B45/047;F04B39/10 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 喻学兵 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种微型流体致动器，包含基板、腔室层、承载层及压电组件。基板，具有至少一进气孔。腔室层形成于该基板上，并具有第一腔室、共振薄层及第二腔室。第一腔室连接至至少一进气孔。共振薄层具有中心通孔，中心通孔连通于第一腔室与第二腔室之间。承载层形成于腔室层上，并具有固定区、振动区、至少一连接部及至少一通孔。固定区形成于腔室层上。振动区位于固定区中央，并与第二腔室对应。至少一连接部连接于固定区与振动区之间。至少一通孔形成于固定区、振动区及至少一连接部之间。压电组件形成于振动区上。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 流体 致动器 | ||
【主权项】：
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