[实用新型]微型流体致动器

说明书

一种微型流体致动器，包含基板、腔室层、承载层及压电组件。基板，具有至少一进气孔。腔室层形成于该基板上，并具有第一腔室、共振薄层及第二腔室。第一腔室连接至至少一进气孔。共振薄层具有中心通孔，中心通孔连通于第一腔室与第二腔室之间。承载层形成于腔室层上，并具有固定区、振动区、至少一连接部及至少一通孔。固定区形成于腔室层上。振动区位于固定区中央，并与第二腔室对应。至少一连接部连接于固定区与振动区之间。至少一通孔形成于固定区、振动区及至少一连接部之间。压电组件形成于振动区上。

技术领域

本案是关于一种微型流体致动器，尤指一种通过半导体制程制出的微型流体致动器。

背景技术

目前于各领域中无论是医药、电脑科技、打印、能源等工业，产品均朝精致化及微小化方向发展，其中，微泵、喷雾器、喷墨头、工业打印装置等产品所包含的用以输送流体的泵构为其关键元件，是以，如何借创新结构突破其技术瓶颈，为发展的重要内容。

随着科技的日新月异，流体输送装置的应用上亦愈来愈多元化，举凡工业应用、生医应用、医疗保健、电子散热等等，甚至近来热门的穿戴式装置皆可见它的踨影，可见传统的泵已渐渐有朝向装置微小化、流量极大化的趋势。

然而，目前微型流体致动器大多都使用多个晶片通过蚀刻制程后依序堆叠结合而成，但是微型泵体致动器其体积极小，其结合难度大、或是结合造成内部气体流动的腔室位置错位、深度产生误差，都会使其功效大幅降低，甚至是被归类为不良品，因此，如何产生一体成形的微型流体致动器，为本案所研发的主要课题。

实用新型内容

本案的主要目的在于提供一种微型流体致动器，用以半导体制程所制造并辅以1P6M制程的微型流体致动器。

为达上述目的，本案的较广义实施态样为提供一种微型流体致动器，包含：一基板，具有至少一进气孔；一腔室层，形成于该基板上，具有：一第一腔室，连接至该至少一进气孔；一共振薄层，具有一中心通孔，该中心通孔连通于该第一腔室；以及一第二腔室，与该第一腔室对应，并通过该中心通孔与该第一腔室连通；一承载层，形成于该腔室层上，具有：一固定区，形成于该腔室层；一振动区，位于该固定区中央，并与该第二腔室对应；至少一连接部，连接于该固定区与该振动区之间；以及至少一通孔，位于该固定区、该振动区及该至少一连接部之间；以及一压电组件，形成于该振动区。

附图说明

图1为本案微型流体致动器的第一实施例示意图。

图2为本案微型流体致动器的第二实施例示意图。

图3为本案微型流体致动器的第三实施例示意图。

图4为本案微型流体致动器的第四实施例示意图。

图5为本案微型流体致动器结合阀结构示意图。

图6A、图6B为本案微型流体致动器作动示意图。

附图标记说明

100：微型流体致动器

1：基板

11：进气孔

12：第一表面

13：第二表面

2：腔室层

21：第一腔室

22：共振薄层

221：中心通孔

23：第二腔室

24：绝缘层

25：多晶硅层

25a：第一多晶硅层

25b：第二多晶硅层