[实用新型]一种板式PECVD机台

摘要

本实用新型公开了一种板式PECVD机台，包括：机台底座；传送带，所述传送带可拆卸的设置在机台底座的内腔顶部，所述传送带的表面沿水平方向设置有多组装料槽，每组所述装料槽的数量为五个；装料区，所述传送带的顶端一侧设置有装料区；工艺区，所述传送带的顶端中部设置有工艺区；卸料区，所述传送带的顶端另一侧设置有卸料区；进料台，所述进料台设置在机台底座的一端前部，所述进料台的内腔设置有硅片；装料机，所述装料机设置在机台底座的一端前部和进料台的另一端。该板式PECVD机台，通过装料机从进料台内取出硅片，并将硅片放在传送带上，再通过卸料机将硅片取出，通过出料机构将硅片送出，缩短了加工时长，便捷卸料，实用性强。