[实用新型]一种喷淋式晶圆高效清洗装置有效
| 申请号： | 201921877832.6 | 申请日： | 2019-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN210907313U | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 王岳峰 | 申请（专利权）人： | 深圳市盈富仕科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/00 | 分类号： | B08B11/00;B08B3/02;B08B1/02;B08B11/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 重庆百润洪知识产权代理有限公司 50219 | 代理人： | 张建斌 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了清洗设备技术领域的一种喷淋式晶圆高效清洗装置，包括清洗箱，清洗箱顶部和底部分别固定连接有储水箱和接水箱，接水箱顶部开设有落水孔，接水箱顶部滑动连接有清洗架，接水箱顶部固定连接有清扫架，清扫架中间转动连接有清扫刷，清洗架侧壁固定连接有驱动连接板，驱动连接板中间转动连接有多组驱动滚轮，驱动滚轮侧壁固定连接有限位夹持圈，储水箱底部固定安装有电动推杆，电动推杆底部固定连接有喷水架，喷水架侧壁固定安装有多个清洗喷头，本实用新型双面同时清洗，无死角全面清洗，且喷淋无接触清洗可避免晶圆表面划伤破损，也可刷洗晶圆表面，清洗更彻底洁净。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷淋 式晶圆 高效 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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