[实用新型]一种喷淋式晶圆高效清洗装置

权利要求书

1.一种喷淋式晶圆高效清洗装置，其特征在于：包括清洗箱(1)，所述清洗箱(1)顶部和底部分别固定连接有储水箱(2)和接水箱(3)，所述接水箱(3)顶部开设有落水孔(4)，所述接水箱(3)顶部滑动连接有清洗架(5)，所述接水箱(3)顶部固定连接有清扫架(6)，所述清扫架(6)中间转动连接有清扫刷(7)，所述清洗架(5)侧壁固定连接有驱动连接板(8)，所述驱动连接板(8)中间转动连接有多组驱动滚轮(9)，所述驱动滚轮(9)侧壁固定连接有限位夹持圈(10)，所述储水箱(2)底部固定安装有电动推杆(11)，所述电动推杆(11)底部固定连接有喷水架(12)，所述喷水架(12)侧壁固定安装有多个清洗喷头(13)。

2.根据权利要求1所述的一种喷淋式晶圆高效清洗装置，其特征在于：所述驱动滚轮(9)外壁为橡胶辊，所述限位夹持圈(10)为橡胶圈，所述驱动滚轮(9)为中间细两头粗的曲线形。

3.根据权利要求1所述的一种喷淋式晶圆高效清洗装置，其特征在于：所述清洗喷头(13)为斜向下喷头，所述喷水架(12)为弧形喷水架(12)。

4.根据权利要求1所述的一种喷淋式晶圆高效清洗装置，其特征在于：所述喷水架(12)通过管道连接有喷水泵，所述喷水泵位于储水箱(2)内，所述电动推杆(11)底部固定连接有连接架(14)，所述连接架(14)连接两组喷水架(12)，所述清洗架(5)位于喷水架(12)中间位置。

5.根据权利要求1所述的一种喷淋式晶圆高效清洗装置，其特征在于：所述清洗箱(1)中间转动连接有驱动丝杠(15)，所述清洗箱(1)中间固定连接有导向杆(16)，所述驱动丝杠(15)和导向杆(16)均穿过清洗架(5)分别与之螺纹连接和滑动连接。

6.根据权利要求1所述的一种喷淋式晶圆高效清洗装置，其特征在于：所述清洗箱(1)中间固定连接有防护导水板(17)，所述清洗架(5)位于防护导水板(17)之间，所述清洗架(5)与清洗箱(1)和清扫架(6)之间固定连接有防水风琴折叠布。