[实用新型]逆止阀及半导体设备有效
| 申请号： | 201921864390.1 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN211010020U | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 檀忠毅;罗义波 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | F16K15/08 | 分类号： | F16K15/08;F16K27/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种逆止阀及半导体设备，逆止阀安装在排气管路上，包括阀腔及设置于阀腔内的阀芯，阀芯包括阀片及环形的承载座，所述承载座内设置有若干支撑柱，至少一个所述支撑柱与所述阀片连接，由于进口端和出口端之间存在压差，所述阀片会遮盖所述承载座的通孔，当真空泵停机时，在介质的驱动下，与所述阀片连接的支撑柱在所述承载座内垂向移动以使所述阀片迅速遮盖所述进口端，能够及时、快速的防止排气管路中的废气或副产物进入反应腔中，提高产品的良率；并且，由于阀片放置在支撑柱上，可以减少阀片和承载座之件的副产物堆积，支撑柱设置在承载座内，也不会附着副产物，可以避免阀片动作异常，延长逆止阀的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 逆止阀 半导体设备 | ||
【主权项】：
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