[实用新型]圆片旋涂改方片的结构有效
| 申请号： | 201921841315.3 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN210428085U | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 杨巨椽;葛文志;陈银培;丁宇能;朱毅;翁钦盛 | 申请（专利权）人： | 杭州美迪凯光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260 | 代理人： | 丁少华 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种圆片旋涂改方片的结构，包括在圆片上形成胶层的旋涂设备，所述的圆片可拆卸固定在旋涂设备上，所述圆片上设有若干相互交叉的分割槽，所述的分割槽围合成方片外形；所述的分割槽为激光切割缝，所述的胶层与分割槽开口处分别位于圆片相反侧面上；所述的圆片直径长度大于方片的对角线长度，所述圆片边缘与方片边缘之间设有操作区。本实用新型设计简单，使用灵活，既能满足客户的要求，又能充分发挥旋涂的优势，可操作性高，具有阶段适用性。 | ||
| 搜索关键词： | 圆片旋 涂改 结构 | ||
【主权项】：
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