[实用新型]圆片旋涂改方片的结构有效
| 申请号: | 201921841315.3 | 申请日: | 2019-10-30 |
| 公开(公告)号: | CN210428085U | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
| 发明(设计)人: | 杨巨椽;葛文志;陈银培;丁宇能;朱毅;翁钦盛 | 申请(专利权)人: | 杭州美迪凯光电科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16 |
| 代理公司: | 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260 | 代理人: | 丁少华 |
| 地址: | 310000 浙江省杭州市杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 圆片旋 涂改 结构 | ||
【权利要求书】:
1.一种圆片旋涂改方片的结构,包括在圆片上形成胶层的旋涂设备,其特征在于,所述的圆片可拆卸固定在旋涂设备上,所述圆片上设有若干相互交叉的分割槽,所述的分割槽围合成方片外形。
2.根据权利要求1所述的圆片旋涂改方片的结构,其特征是,所述的分割槽为激光切割缝,所述的胶层与分割槽开口处分别位于圆片相反侧面上。
3.根据权利要求1所述的圆片旋涂改方片的结构,其特征是,所述的圆片直径长度大于方片的对角线长度,所述圆片边缘与方片边缘之间设有操作区。
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