[实用新型]一种增强型异质金属栅AlGaN/GaN MOS-HEMT器件有效
申请号: | 201921823837.0 | 申请日: | 2019-10-28 |
公开(公告)号: | CN210073863U | 公开(公告)日: | 2020-02-14 |
发明(设计)人: | 李迈克 | 申请(专利权)人: | 中证博芯(重庆)半导体有限公司 |
主分类号: | H01L29/423 | 分类号: | H01L29/423;H01L29/06;H01L29/417;H01L29/778;H01L21/28;H01L21/335 |
代理公司: | 50213 重庆中之信知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 霍维英 |
地址: | 401520 重庆*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种增强型异质金属栅AlGaN/GaN MOS‑HEMT器件,包括:位于Al | ||
搜索关键词: | 阻挡层 帽层 本实用新型 栅极氧化层 缓冲结构 过渡层 多层 漏极 源极 沟道载流子 灵活调整 驱动电流 异质金属 栅极结构 阈值电压 迁移率 增强型 衬底 沟道 异质 穿过 恶化 | ||
【主权项】:
1.一种增强型异质金属栅AlGaN/GaN MOS-HEMT器件,其特征在于,包括:/n位于Al
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