[实用新型]一种微波等离子发生器有效
| 申请号： | 201921813363.1 | 申请日： | 2019-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN210609830U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 徐恒军;辛傲宇;陆会波 | 申请（专利权）人： | 苏州普洛泰科精密工业有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/26 | 分类号： | H05H1/26 |
| 代理公司： | 苏州唯亚智冠知识产权代理有限公司 32289 | 代理人： | 李丽 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种微波等离子发生器，包括机箱，气体调节阀的输出端与流量阀的输入端相连，流量阀的输出端与高压阀的输入端相连，高压阀的输出端与微波等离子喷头机构的输入端相连，机箱内还设置有微波发生器，微波发生器的输出端与环形器的输入端相连，环形器通过负载装置与微波等离子喷头机构设置，机箱内设置有PLC控制单元和信号控制板单元，流量阀的信号端与信号控制板单元的输入端相连，信号控制板单元的反馈端与PLC控制单元的输入端相连，PLC控制单元的控制端通过信号控制板单元与高压阀的受控端相连，PLC控制单元的控制端与微波发生器的受控端相连。本实用新型能对产品可达到洁净度10°以内，同时低功率，低带电电压，耗材配件近乎零消耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微波 等离子 发生器 | ||
【主权项】：
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