[实用新型]一种微波等离子发生器

说明书

本实用新型涉及一种微波等离子发生器，包括机箱，气体调节阀的输出端与流量阀的输入端相连，流量阀的输出端与高压阀的输入端相连，高压阀的输出端与微波等离子喷头机构的输入端相连，机箱内还设置有微波发生器，微波发生器的输出端与环形器的输入端相连，环形器通过负载装置与微波等离子喷头机构设置，机箱内设置有PLC控制单元和信号控制板单元，流量阀的信号端与信号控制板单元的输入端相连，信号控制板单元的反馈端与PLC控制单元的输入端相连，PLC控制单元的控制端通过信号控制板单元与高压阀的受控端相连，PLC控制单元的控制端与微波发生器的受控端相连。本实用新型能对产品可达到洁净度10°以内，同时低功率，低带电电压，耗材配件近乎零消耗。

技术领域

本实用新型涉及一种微波等离子发生器。

背景技术

在半导体行业内，TFT液晶，OLED柔性显示器制造行业。随着消费者对产品的要求越来越高，促使工厂需要对产品的质量把控更加严格。

通常液晶行业，客户对液晶显示屏的贴附面水滴角洁净度要求15°以内，目前通用做法是，利用微波等离子枪头装置，对液晶玻璃面板的芯片贴附位置进行微波清洗，然后传送给下段工序贴附。但其高功率，高带电电压，耗材配件消耗高。更换不同气体源(空气，氩气，氮气)，需更换内部配件，降低了工作效率。

有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的微波等离子发生器，使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种微波等离子发生器。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种微波等离子发生器，包括机箱，所述机箱内气体调节阀、流量阀和高压阀，三者位于机箱的侧边设置，所述气体调节阀的输入端与外置的气体罐的输出端相连，所述气体调节阀的输出端与流量阀的输入端相连，所述流量阀的输出端与高压阀的输入端相连，所述高压阀的输出端与微波等离子喷头机构的输入端相连，所述机箱内还设置有微波发生器，所述微波发生器的输出端与环形器的输入端相连，所述环形器通过负载装置与微波等离子喷头机构设置，所述机箱内设置有PLC控制单元和信号控制板单元，所述流量阀的信号端与信号控制板单元的输入端相连，所述信号控制板单元的反馈端与PLC控制单元的输入端相连，所述PLC控制单元的控制端通过信号控制板单元与高压阀的受控端相连，所述PLC控制单元的控制端与微波发生器的受控端相连。

优选地，所述的一种微波等离子发生器，所述机箱内设置有风扇，位于机箱的侧边固定。

优选地，所述的一种微波等离子发生器，所述微波等离子喷头机构包括壳体，所述壳体的上端设置有进气接头，所述进气接头通过连通管与喷嘴组件相连通，所述壳体上还设置有电缆接头，所述电缆接头与微波电缆线的一端相连，另一端与喷嘴组件相连，所述壳体内设置有点火装置，所述点火装置的受控端通过传输电缆与PLC控制单元的控制端相连，所述点火装置的点火端与喷嘴组件相连。

优选地，所述的一种微波等离子发生器，所述喷嘴组件包括喷嘴，所述喷嘴内设置有电极，位于中轴处设置，与点火装置上的放电针相碰触设置。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：

本实用新型的微波等离子发生器对产品清洁后可达到10°以内，同时低功率，低带电电压，耗材配件近乎零消耗。本实用新型还能依据不同的需求达到快速更换气体的要求，从而实现高效的工作效率。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明