[实用新型]一种微波等离子发生器

权利要求书

1.一种微波等离子发生器，其特征在于：包括机箱(1)，所述机箱(1)内气体调节阀(2)、流量阀(3)和高压阀(4)，三者位于机箱(1)的侧边设置，所述气体调节阀(2)的输入端与外置的气体罐的输出端相连，所述气体调节阀(2)的输出端与流量阀(3)的输入端相连，所述流量阀(3)的输出端与高压阀(4)的输入端相连，所述高压阀(4)的输出端与微波等离子喷头机构(5)的输入端相连，所述机箱(1)内还设置有微波发生器(10)，所述微波发生器的输出端与环形器(6)的输入端相连，所述环形器(6)通过负载装置(11)与微波等离子喷头机构(5)设置，所述机箱(1)内设置有PLC控制单元(7)和信号控制板单元(8)，所述流量阀(3)的信号端与信号控制板单元(8)的输入端相连，所述信号控制板单元(8)的反馈端与PLC控制单元(7)的输入端相连，所述PLC控制单元(7)的控制端通过信号控制板单元(8)与高压阀(4)的受控端相连，所述PLC控制单元(7)的控制端与微波发生器的受控端相连。

2.根据权利要求1所述的一种微波等离子发生器，其特征在于：所述机箱(1)内设置有风扇(9)，位于机箱(1)的侧边固定。

3.根据权利要求1所述的一种微波等离子发生器，其特征在于：所述微波等离子喷头机构(5)包括壳体(51)，所述壳体(51)的上端设置有进气接头(52)，所述进气接头(52)通过连通管与喷嘴组件(53)相连通，所述壳体(51)上还设置有电缆接头(56)，所述电缆接头(56)与微波电缆线(54)的一端相连，另一端与喷嘴组件(53)相连，所述壳体(51)内设置有点火装置(55)，所述点火装置(55)的受控端通过传输电缆与PLC控制单元(7)的控制端相连，所述点火装置(55)的点火端与喷嘴组件(53)相连。

4.根据权利要求3所述的一种微波等离子发生器，其特征在于：所述喷嘴组件(53)包括喷嘴(531)，所述喷嘴(531)内设置有电极(532)，位于中轴处设置，与点火装置(55)上的放电针相碰触设置。