[实用新型]一种石墨盘及沉积装置

摘要

本实用新型提供一种石墨盘及沉积装置。本实用新型的石墨盘通过增加每个晶圆凹槽中的突起数量和/或增设与外延晶圆片接触面积大于普通突起的大面积突起，增加了晶圆片与突起的接触面积，同时还通过调整各个突起在晶圆凹槽中的分布位置，共同增大晶圆片旋转时所受的摩擦力，提高晶圆凹槽对外延晶圆片所受离心力的控制，减小其偏移，避免因偏移造成晶圆片与突起之间接触面积变化而引起的温度差异的增大，保证晶圆片生长质量，提升良率。在此基础上，本实用新型还对现有石墨盘的晶圆凹槽进行了重新排序设计，将晶圆凹槽向远离盘面中心的方向进行不同程度的移动，从而增加晶圆凹槽数量，使石墨盘空间利用率上升，有效提升了其单个生产周期中的产能。