[实用新型]一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头有效
| 申请号： | 201921656271.7 | 申请日： | 2019-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN211193454U | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 赵德文;刘远航;孟松林 | 申请（专利权）人： | 清华大学;华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/32 | 分类号： | B24B37/32;B24B37/013;B24B49/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头，包括环形主体，所述环形主体由环状的上部和下部组成，所述上部由金属制成，所述下部由塑料制成并且具有用作抛光液通道的凹槽，所述上部和下部通过结合层结合为一体，所述结合层含有吸波材料以防止保持环反射电磁波或产生电涡流。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 保持 承载 | ||
【主权项】：
暂无信息
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