[实用新型]一种花篮杆组件和花篮有效
| 申请号： | 201921596194.0 | 申请日： | 2019-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN211295060U | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 陈林 | 申请（专利权）人： | 楚雄隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 莎日娜 |
| 地址： | 651299 云南*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种花篮杆组件，花篮杆组件可以应用于周转花篮，用于对加工过程中的硅片进行周转，包括支撑杆和齿槽杆，齿槽杆包括齿槽杆本体和花篮齿，多个花篮齿依次间隔安装于齿槽杆本体，齿槽杆本体可拆卸安装于支撑杆，多个花篮齿和支撑杆在齿槽杆本体上相对设置或相邻设置。花篮杆组件由可拆卸连接的齿槽杆和支撑杆组成，齿槽杆和支撑杆各自独立，当齿槽杆损坏需要更换时，可以单独更换齿槽杆；当支撑杆损坏时，可以单独的更换支撑杆，或对损坏的支撑杆进行校正后，重复使用。因此，可以避免在齿槽杆或支撑杆损坏时，整根更换花篮杆，节约企业成本，降低花篮使用过程中的资源浪费。此外，本申请还提供一种花篮，用于对加工过程中的硅片进行周转，包括多个花篮杆、两个支撑板和至少一个如上所述的花篮杆组件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 花篮 组件 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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