[实用新型]分批次精准变换硅片组传送角度的操作机构有效
| 申请号： | 201921538270.2 | 申请日： | 2019-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN211310124U | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 张奇巍;肖方生;岳军;苗俊芳;张海;杜虎明;姜志艳 | 申请（专利权）人： | 西北电子装备技术研究所（中国电子科技集团公司第二研究所） |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G47/91;B65G47/24;B65G43/08 |
| 代理公司： | 山西华炬律师事务所 14106 | 代理人： | 陈奇 |
| 地址： | 030024 *** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种分批次精准变换硅片组传送角度的操作机构，解决了现有装置在进行不同组别的硅片旋转操作时，容易出现方形片状硅片旋转变换角度不一致和初次安装调试中容易发生塑料软管断裂的问题。在吸盘连接的旋转空心轴上设置槽型开关，以精确控制旋转空心轴的旋转初始位置和旋转终止位置，从而保证分批次改变的硅片组的旋转角度一致；在同步传送带闭环的末端从动轮轴上设置限位摆块机构，当伺服电机往复摆动角度超过180°时，切断伺服电机电源，以避免塑料软管发生断裂的现象发生。使分批次调整角度的硅片，调整传送角度后一致性好，精度误差小。 | ||
| 搜索关键词： | 批次 精准 变换 硅片 传送 角度 操作 机构 | ||
【主权项】：
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