[实用新型]一种兼容多种尺寸硅片的导向传动辊及传送装置有效

专利信息
申请号: 201921491384.6 申请日: 2019-09-09
公开(公告)号: CN210296328U 公开(公告)日: 2020-04-10
发明(设计)人: 左国军;刘洪勇 申请(专利权)人: 常州捷佳创精密机械有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L31/18
代理公司: 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 代理人: 朱建霞
地址: 213000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种兼容多种尺寸硅片的导向传动辊,包括:转动运送硅片的传动辊、安装在所述传动辊上用于支撑所述硅片的调节机构,所述调节机构可沿着所述传动辊的轴向方向来回移动,且宽度可调节。本实用新型提出的兼容多种尺寸硅片的导向传动辊,在导向传动辊上设有调节装置,可以对放置硅片位置的宽度尺寸进行调节,从而可以适用于多种尺寸的硅片的传送,使用方便,生产成本较低。兼容多种尺寸硅片的传送装置,可以在硅片的进口设置成喇叭状并逐渐减少成对使用的两个调节装置之间的距离,直到与硅片的尺寸一致,从而具有纠错功能,可以将倾斜的硅片逐渐归正,顺利传送。
搜索关键词: 一种 兼容 多种 尺寸 硅片 导向 传动 传送 装置
【主权项】:
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