[实用新型]晶圆盒抓取专用机械手

摘要

本实用新型揭示了一种晶圆盒抓取专用机械手，包括一L型固定板，所述L型固定板上垂直设置有支撑板；所述支撑板的一侧设置有马达；所述马达的输出轴穿过所述支撑板并通过联轴器与一偏心轴连接；所述偏心轴的两侧对称设置有两个旋转臂，所述旋转臂的第一端与所述支撑板垂直设置且两者间为枢轴连接，其相对于所述支撑板的第二端上固定有夹爪，所述马达驱动偏心轴转动，进而驱动两个旋转臂同时呈相反方向转动，使其夹爪产生夹持或松开动作。本实用新型的有益效果主要体现在：机械手的夹爪工作速度一致，能同时夹持物品且不会将被夹持物品碰倒；晶圆盒受力均匀，不至于损坏或者破裂。