[实用新型]单向弯曲敏感传感器有效
| 申请号: | 201921422042.9 | 申请日: | 2019-08-29 |
| 公开(公告)号: | CN210165888U | 公开(公告)日: | 2020-03-20 |
| 发明(设计)人: | 张旻;李萌萌;梁家铭 | 申请(专利权)人: | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号: | G01B7/28 | 分类号: | G01B7/28;C30B33/10;C30B29/06;C23C14/30;C23C14/20;C23F1/02 |
| 代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人: | 王震宇 |
| 地址: | 518055 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 一种单向弯曲敏感传感器,包括聚合物基底、叉指电极以及聚合物弹性体介电层;所述叉指电极覆盖在所述聚合物基底的表面;所述聚合物弹性体介电层具有向上凸起的微结构阵列,并覆盖在所述叉指电极的表面。此传感器结构简单,可实现对弯曲的方向和角度的测量,同时对法向压力不敏感,可避免法向压力带来的干扰,提高了测量的准确性,也不需要额外的校准,能够简便而可靠测量单向弯曲。 | ||
| 搜索关键词: | 单向 弯曲 敏感 传感器 | ||
【主权项】:
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