[实用新型]单向弯曲敏感传感器

权利要求书

1.一种单向弯曲敏感传感器，其特征在于，包括聚合物基底、叉指电极以及聚合物弹性体介电层；所述叉指电极覆盖在所述聚合物基底的表面；所述聚合物弹性体介电层具有向上凸起的微结构阵列，并覆盖在所述叉指电极的表面。

2.如权利要求1所述的单向弯曲敏感传感器，其特征在于，所述聚合物弹性体介电层的微结构包括锥形、截顶锥形和球形中的至少一种。

3.如权利要求2所述的单向弯曲敏感传感器，其特征在于，所述微结构的锥形包括圆锥形或棱锥形，所述微结构的截顶锥形包括截顶圆锥形或截顶棱锥形，所述锥形或所述截顶锥形的锥度在30°-90°之间。

4.如权利要求2至3任一所述的单向弯曲敏感传感器，其特征在于，所述微结构凸起的底面尺寸为直径10-60μm或底边边长为10-60μm。

5.如权利要求1至3任一所述的单向弯曲敏感传感器，其特征在于，所述微结构凸起的间距为10-120μm。

6.如权利要求1至3任一所述的单向弯曲敏感传感器，其特征在于，所述聚合物弹性体介电层的材料为PDMS、TPU、PET、硅橡胶或聚氨酯橡胶。

7.如权利要求1至3任一所述的单向弯曲敏感传感器，其特征在于，所述聚合物弹性体介电层的厚度为6-100μm。

8.如权利要求1至3任一所述的单向弯曲敏感传感器，其特征在于，所述聚合物基底的材料为PET、PI或PP薄膜，薄膜厚度为5-15μm。

9.如权利要求1至3任一所述的单向弯曲敏感传感器，其特征在于，所述叉指电极的电极宽度为10-100μm，叉指间距为10-100μm，电极厚度为50-150nm。

10.如权利要求1至3任一所述的单向弯曲敏感传感器，其特征在于，所述叉指电极的材料为金、银、铜、碳纳米管或铬。