[实用新型]一种用于气相沉积炉的搅拌进气装置

摘要

本实用新型涉及一种用于气相沉积炉的搅拌进气装置，包括进气组件、驱动组件、传动组件和搅拌组件；进气组件包括进气管A和固定套，进气管A安装在固定套侧壁上；驱动组件与传动组件连接；传动组件包括中空转轴，中空转轴插装在固定套中的端部侧壁上开有多个进气孔，其上端与搅拌组件的进气管B的下端连接；搅拌组件包括在进气管B和安装在进气管B端部的搅拌风扇。碳源气体从进气管A进入，经过中空转轴进入进气管B中，进气管B的顶端出口伸入沉积室中，气体经过进气管B进入沉积室内，搅拌风扇匀速旋转，使气体均匀的向沉积室各个方向分散，持续搅拌保证沉积室的气场浓度和温度相对均匀，产品的沉积密度均匀，没有气场浓度死角，不会形成炭黑。