[实用新型]一种防损坏的硅片脱胶架

摘要

本实用新型公开了一种防损坏的硅片脱胶架，包括活动挡板和顶板，所述活动挡板的表面开设有第一透液孔、上穿孔、中穿孔、下穿孔和侧螺孔，所述第一透液孔位于活动挡板中部，所述上穿孔、中穿孔、下穿孔和侧螺孔在活动挡板的两侧从上到下依次排列，所述上穿孔被第一导向杆贯穿。该防损坏的硅片脱胶架，支撑杆上设有连续的S形搁置槽，能让硅片上端的顶板放置地较为稳定，不易脱落，并且能够让顶板能够自由地选择放置位置，更加贴合实际情况，整个脱胶架的支撑杆、防护杆和承接杆的一端通过导向杆与活动挡板连接，从而能够自由脱胶架调节长度，侧分隔杆上有多个可滑动的套圈，隔板可插入硅片缝隙内放置硅片倒伏从而减少硅片损坏。