[实用新型]定位装置及具有该定位装置的湿法制程设备有效
| 申请号： | 201921289555.7 | 申请日： | 2019-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN210199443U | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 陈钰林;杨震宇;闵淼淼;蔡宇 | 申请（专利权）人： | 咸阳彩虹光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G01S17/06 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 张晓 |
| 地址： | 712000 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种定位装置及具有该定位装置的湿法制程设备，包括光纤传感器，所述光纤传感器包括发射探头和接收探头，且所述发射探头和所述接收探头位于同一平面内，其中，所述发射探头与所述接收探头之间设置有阻挡件，且所述阻挡件的顶部高于所述发射探头的顶部。所述湿法制程设备包括流体供给系统、多个喷嘴、传送单元以及所述定位装置。本实用新型的定位装置及湿法制程设备能够有效阻挡了光线通过液体水珠而产生的漫反射现象，避免了定位过程中的误侦测问题。 | ||
| 搜索关键词： | 定位 装置 具有 湿法 设备 | ||
【主权项】：
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