[实用新型]定位装置及具有该定位装置的湿法制程设备

说明书

本实用新型公开了一种定位装置及具有该定位装置的湿法制程设备，包括光纤传感器，所述光纤传感器包括发射探头和接收探头，且所述发射探头和所述接收探头位于同一平面内，其中，所述发射探头与所述接收探头之间设置有阻挡件，且所述阻挡件的顶部高于所述发射探头的顶部。所述湿法制程设备包括流体供给系统、多个喷嘴、传送单元以及所述定位装置。本实用新型的定位装置及湿法制程设备能够有效阻挡了光线通过液体水珠而产生的漫反射现象，避免了定位过程中的误侦测问题。

技术领域

本实用新型属于显示面板制造技术领域，具体涉及一种定位装置及具有该定位装置的湿法制程设备。

背景技术

随着显示技术的发展，液晶显示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)与有机发光二极管显示器(OrganicLightEmittingDiode，OLED)等平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点，而被广泛的应用。液晶显示面板的制程可划分为三个阶段：第一阶段为阵列制程(Array)，即把薄膜晶体管制作在玻璃基板上；第二阶段为组合制程(Cell)，即把彩色滤光基板与薄膜晶体管基板对组，并在中间灌入液晶分子；第三阶段为模组制程(LCM)，即在组合后的面板背后加上背光组件及外接集成电路板，完成液晶显示面板的制作。

在Array制程中，需要先在玻璃基板的表面形成金属薄膜层，并在金属薄膜层上涂布光阻层，在曝光过程中将玻璃基板套上具有特定图案的光罩后对玻璃基板进行曝光，在显影过程中制程利用显影液去除被光照射到的光阻(正性光阻)或未被光照射到的光阻(负性光阻)，在蚀刻过程中蚀刻未被光阻覆盖的金属薄膜，最后去除剩余的光阻层，使光罩上的薄膜晶体管的电路图案形成在玻璃基板上。在Array制程中需要通过湿法制程设备对显示面板进行清洗、刻蚀或剥离。

目前在液晶面板生产中，湿法制程设备通常使用光纤传感器来定位设备腔室中待处理基板的位置，当侦测到基板位置时再执行下一步动作。但是现有的湿法制程设备光纤传感器的灵敏度较高，容易发生误侦测问题，从而引起设备宕机或影响产品品质。

实用新型内容

为了解决现有技术中存在的上述问题，本实用新型提供了一种定位装置及具有该定位装置的湿法制程设备。本实用新型要解决的技术问题通过以下技术方案实现：

本实用新型的一个方面提供了一种定位装置，包括光纤传感器，所述光纤传感器包括发射探头和接收探头，且所述发射探头和所述接收探头位于同一平面内，其中，

所述发射探头与所述接收探头之间设置有阻挡件，且所述阻挡件的顶部高于所述发射探头的顶部。

在本实用新型的一个实施例中，所述定位装置还包括安装底座，所述发射探头、所述接收探头和所述阻挡件均固定在所述安装底座上。

在本实用新型的一个实施例中，所述阻挡件包括连接部以及可拆卸地安装在所述连接部上端的挡板部，所述连接部通过紧固件安装在所述安装底座上，以使所述阻挡件能够相对于所述安装底座竖向滑动。

在本实用新型的一个实施例中，所述挡板部竖向设置在所述发射探头与所述接收探头之间。

在本实用新型的一个实施例中，所述阻挡件的顶部高于所述发射探头的顶部5-7mm。

本实用新型的另一方面提供了一种湿法制程设备，包括流体供给系统、喷嘴、传送单元、以及上述实施例中任一项所述的定位装置，其中，

所述喷嘴设置在所述传送单元的上方且连接至所述流体供给系统；

所述定位装置设置在所述传送单元的下方，且所述定位装置的所述阻挡件与所述传送单元下表面具有预定间距。

在本实用新型的一个实施例中，所述预定间距为3-7mm。

在本实用新型的一个实施例中，所述传送单元为平行设置的多个滚轴，且所述滚轴沿相同方向转动。