[实用新型]减压干燥装置有效
申请号: | 201921250644.0 | 申请日: | 2019-08-02 |
公开(公告)号: | CN211000536U | 公开(公告)日: | 2020-07-14 |
发明(设计)人: | 林杰 | 申请(专利权)人: | 广东聚华印刷显示技术有限公司 |
主分类号: | B41J11/00 | 分类号: | B41J11/00;H01L51/56 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 宋朝政 |
地址: | 510000 广东省广州市广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型提出一种减压干燥装置,包括封闭的腔体、控温平台以及抽气装置,所述抽气装置可将封闭的所述腔体连通至外部而降低所述腔体中的压强,所述控温平台加热待干燥基板,所述减压干燥装置还包括溶剂捕获网,所述溶剂捕获网的表面为超疏水性表面,并设于所述控温平台的下方。本申请提供一种减压干燥装置,解决了现有技术中溶剂挥发速率不稳定的技术问题。 | ||
搜索关键词: | 减压 干燥 装置 | ||
【主权项】:
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