[实用新型]减压干燥装置

权利要求书

1.一种减压干燥装置，包括封闭的腔体、控温平台以及抽气装置，所述抽气装置可将密闭的所述腔体连通至外部而降低所述腔体中的压强，所述控温平台加热待干燥基板，其特征在于，所述减压干燥装置还包括溶剂捕获网，所述溶剂捕获网的表面为超疏水性表面，并设于所述控温平台的下方。

2.如权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于，所述溶剂捕获网的表面设有高1-3μm、宽200-300nm的凸起。

3.如权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于，所述减压干燥装置还包括液滴收集装置，所述液滴收集装置设置在所述溶剂捕获网的下方，所述液滴收集装置与所述溶剂捕获网之间设有间隙。

4.如权利要求1-3任一项所述的减压干燥装置，其特征在于，所述腔体设有供所述基板穿过的通道，所述通道处设有可拆卸的密封板。

5.如权利要求4所述的减压干燥装置，其特征在于，所述液滴收集装置设置在所述腔体的内底壁。

6.如权利要求4所述的减压干燥装置，其特征在于，所述减压干燥装置还包括溶剂捕获网升降部，所述溶剂捕获网升降部的一端与所述溶剂捕获网连接、另一端与所述腔体的内底壁连接。

7.如权利要求4所述的减压干燥装置，其特征在于，所述减压干燥装置还包括基板支承框，所述基板支承框悬空设置在所述腔体内，与所述基板待干燥的表面边缘处相贴。

8.如权利要求7所述的减压干燥装置，其特征在于，所述减压干燥装置还包括基板支承框缓冲部，所述基板支承框缓冲部的一端与所述基板支承框连接、另一端与所述腔体的内顶壁连接。

9.如权利要求4所述的减压干燥装置，其特征在于，所述控温平台的长度大于所述基板的长度，所述控温平台与所述腔体的内顶壁之间设有控温平台升降部。