[实用新型]减压干燥装置

说明书

本实用新型提出一种减压干燥装置，包括封闭的腔体、控温平台以及抽气装置，所述抽气装置可将封闭的所述腔体连通至外部而降低所述腔体中的压强，所述控温平台加热待干燥基板，所述减压干燥装置还包括溶剂捕获网，所述溶剂捕获网的表面为超疏水性表面，并设于所述控温平台的下方。本申请提供一种减压干燥装置，解决了现有技术中溶剂挥发速率不稳定的技术问题。

技术领域

本实用新型涉及有机发光二极管领域，尤其涉及一种减压干燥装置。

背景技术

有机发光二极管(OLED)因其色域广、对比度高、响应迅速、视角大、功耗低等优点，近年来作为下一代显示技术而倍受关注。

有机发光二极管的结构包括：阳极、空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极。其中的空穴注入层、空穴传输层、发光层除了可以使用传统的蒸镀方法来制备外，还可以使用喷墨打印的方法来制备，即将有机材料溶解到有机溶剂中制成墨水，再用喷墨打印的方式准确沉积到每一个像素坑中。沉积后，经过减压干燥，使溶剂完全挥发，只留下有机材料，然后再对有机材料进行烘烤，便完成一层功能层的制备。

然而，传统的减压干燥装置中，溶剂的挥发速率不稳定，最终导致像素坑内成膜形貌不平坦，膜厚均匀性较差，从而影响了有机发光二极管的质量。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种减压干燥装置，旨在解决现有技术中溶剂挥发速率不稳定的技术问题。

为实现上述目的，本申请提出一种减压干燥装置，包括封闭的腔体、控温平台以及抽气装置，所述抽气装置可将封闭的所述腔体连通至外部而降低所述腔体中的压强，所述控温平台加热待干燥基板，所述减压干燥装置还包括溶剂捕获网，所述溶剂捕获网的表面为超疏水性表面，并设于所述控温平台的下方。

可选地，所述溶剂捕获网的表面设有高1-3μm、宽200-300nm的凸起。

可选地，所述减压干燥装置还包括液滴收集装置，所述液滴收集装置设置在所述溶剂捕获网的下方，所述液滴收集装置与所述溶剂捕获网之间设有间隙。

可选地，所述腔体设有供所述基板穿过的通道，所述通道处设有可拆卸的密封板。

可选地，所述液滴收集装置设置在所述腔体的内底壁。

可选地，所述减压干燥装置还包括溶剂捕获网升降部，所述溶剂捕获网升降部的一端与所述溶剂捕获网连接、另一端与所述腔体的内底壁连接。

可选地，所述减压干燥装置还包括基板支承框，所述基板支承框悬空设置在所述腔体内，与所述基板待干燥的表面边缘处相贴。

可选地，所述减压干燥装置还包括基板支承框缓冲部，所述基板支承框缓冲部的一端与所述基板支承框连接、另一端与所述腔体的内顶壁连接。

可选地，所述控温平台的长度大于所述基板的长度，所述控温平台与所述腔体的内顶壁之间设有控温平台升降部。

相对于现有技术，本实用新型提出的技术方案中，与传统的减压干燥装置相比，整体上是上下颠倒设置的，并且对溶剂捕获网的表面做了超疏水处理，利用多液滴合并时触发的液滴弹跳现象来清除溶剂捕获网表面的凝结液滴，使凝结液滴脱离溶剂捕获网，成为脱离液滴。由于凝结液滴能够自主脱离溶剂捕获网表面，因此溶剂捕获网的冷凝能力是没有极限的，能够不断的对溶剂蒸汽进行冷凝，确保在减压干燥过程中的各个时间，基板上不同位置的溶剂，都能维持稳定的挥发速率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。