[实用新型]用于批量化生长石墨烯薄膜的载具有效
| 申请号： | 201921241279.7 | 申请日： | 2019-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN211311578U | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 刘忠范;彭海琳;张月新;张金灿;刘晓婷;李广亮 | 申请（专利权）人： | 北京石墨烯研究院;北京大学 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458;C23C16/26 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 阚梓瑄;孙宝海 |
| 地址： | 100095 北京市海淀区苏家*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于批量化生长石墨烯薄膜的载具，包括用于承载生长衬底的多个支撑板和用于支撑多个支撑板的板架，板架呈空心方柱结构且其水平设置，板架包括两个相对设置的侧部，两个侧部的相互面对的一面开有多个相互独立的条形槽，两个侧部上的条形槽一一对应，支撑板能够沿着两个对应的条形槽插入板架内。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 批量 化生 石墨 薄膜 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
