[实用新型]一种半导体长晶过滤器

摘要

本实用新型提供一种半导体长晶过滤器，包含滤筒、滤芯和顶盖；滤芯位于滤筒内部，顶盖设于滤筒的顶部；滤芯的顶部设有上盖板，底部设有安装板，安装板的下侧设有安装架，安装架与滤筒的内壁连接；安装板的下侧连接直角法兰管，直角法兰管的一端与滤芯内部连通，另一端伸出滤筒；滤筒的侧壁上分别连接排污法兰管和进口法兰管；排污法兰管的一端连接滤筒，另一端设有盲板法兰；进口法兰管的一端连接滤筒，另一端上侧设有氧化阀；顶盖上设有丝杆，丝杆的顶部设有调节螺母，丝杆的底部通过丝杆螺母与顶盖连接。本实用新型过滤精度高，保护了回收系统，降低了设备成本；另设置氧化阀门，使粉末等杂物在过滤器内部被氧化，降低了危险发生的概率。