[实用新型]蒸发真空镀膜机用蒸发装置有效

专利信息
申请号: 201921187138.1 申请日: 2019-07-26
公开(公告)号: CN210560698U 公开(公告)日: 2020-05-19
发明(设计)人: 傅志坚 申请(专利权)人: 青岛华磊真空镀膜有限公司
主分类号: C23C14/26 分类号: C23C14/26
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266000 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型公开了一种蒸发真空镀膜机用蒸发装置,其技术方案要点是包括支撑板、转轴、固定连接在支撑板底部的电机、固定连接在转轴顶部外周上的若干蒸发块、沿竖直方向贯穿蒸发块的蒸发孔、固定连接在蒸发块底部的电阻板、固定连接在电阻板底部的正极凸块、固定连接在电阻板底部的负极凸块、固定连接在支撑板顶部的正极柱、固定连接在支撑板顶部的负极柱、固定连接在支撑板顶部的竖板以及固定连接在竖板顶部的密封板,对其中一蒸发块的蒸发孔中的材料进行蒸发的时候,其他蒸发块的蒸发孔都会被密封板密封住,从而使得蒸发孔当中的材料不会产生污染,从而使得该材料蒸发后在零件表面形成的膜中不含有其他杂质,从而提高了膜的质量。
搜索关键词: 蒸发 真空镀膜 装置
【主权项】:
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