[实用新型]蒸发真空镀膜机用蒸发装置有效
申请号: | 201921187138.1 | 申请日: | 2019-07-26 |
公开(公告)号: | CN210560698U | 公开(公告)日: | 2020-05-19 |
发明(设计)人: | 傅志坚 | 申请(专利权)人: | 青岛华磊真空镀膜有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266000 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种蒸发真空镀膜机用蒸发装置,其技术方案要点是包括支撑板、转轴、固定连接在支撑板底部的电机、固定连接在转轴顶部外周上的若干蒸发块、沿竖直方向贯穿蒸发块的蒸发孔、固定连接在蒸发块底部的电阻板、固定连接在电阻板底部的正极凸块、固定连接在电阻板底部的负极凸块、固定连接在支撑板顶部的正极柱、固定连接在支撑板顶部的负极柱、固定连接在支撑板顶部的竖板以及固定连接在竖板顶部的密封板,对其中一蒸发块的蒸发孔中的材料进行蒸发的时候,其他蒸发块的蒸发孔都会被密封板密封住,从而使得蒸发孔当中的材料不会产生污染,从而使得该材料蒸发后在零件表面形成的膜中不含有其他杂质,从而提高了膜的质量。 | ||
搜索关键词: | 蒸发 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】:
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