[实用新型]蒸发真空镀膜机用蒸发装置有效

专利信息
申请号: 201921187138.1 申请日: 2019-07-26
公开(公告)号: CN210560698U 公开(公告)日: 2020-05-19
发明(设计)人: 傅志坚 申请(专利权)人: 青岛华磊真空镀膜有限公司
主分类号: C23C14/26 分类号: C23C14/26
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266000 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 蒸发 真空镀膜 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种蒸发真空镀膜机用蒸发装置,其技术方案要点是包括支撑板、转轴、固定连接在支撑板底部的电机、固定连接在转轴顶部外周上的若干蒸发块、沿竖直方向贯穿蒸发块的蒸发孔、固定连接在蒸发块底部的电阻板、固定连接在电阻板底部的正极凸块、固定连接在电阻板底部的负极凸块、固定连接在支撑板顶部的正极柱、固定连接在支撑板顶部的负极柱、固定连接在支撑板顶部的竖板以及固定连接在竖板顶部的密封板,对其中一蒸发块的蒸发孔中的材料进行蒸发的时候,其他蒸发块的蒸发孔都会被密封板密封住,从而使得蒸发孔当中的材料不会产生污染,从而使得该材料蒸发后在零件表面形成的膜中不含有其他杂质,从而提高了膜的质量。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜的技术领域,更具体的说,它涉及一种蒸发真空镀膜机用蒸发装置。

背景技术

蒸发真空镀膜也俗称为真空镀膜,在进行镀膜的时候,通过在真空条件下,使得材料蒸发之后在零件的表面均匀的凝结成膜;现有的蒸发真空镀膜机当中可以设置多个蒸发装置来对不同的物料进行蒸发,从而能够一次在零件的表面镀上不同材料的膜。

现有的蒸发真空镀膜机中的一个蒸发装置在进行材料蒸发的时候会对其他蒸发装置当中的材料产生污染,从而使得被污染的材料蒸发后在零件表面形成的膜中含有其他材料的杂质,影响了镀膜的效果。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足,本实用新型的目的在于提供一种蒸发真空镀膜机用蒸发装置,其对其中一蒸发块的蒸发孔中的材料进行蒸发的时候,其他蒸发块的蒸发孔都会被密封板密封住,从而使得蒸发孔当中的材料不会产生污染,从而使得该材料蒸发后在零件表面形成的膜中不含有其他杂质,从而提高了膜的质量。

为实现上述目的,本实用新型提供了如下技术方案:一种蒸发真空镀膜机用蒸发装置,包括支撑板、转动连接在支撑板上的转轴、固定连接在支撑板底部的用于带动转轴进行转动的电机、固定连接在转轴顶部外周上的若干围绕转轴均匀分布的蒸发块、沿竖直方向贯穿蒸发块的蒸发孔、固定连接在蒸发块底部并且用于将蒸发孔底部封堵住的电阻板、固定连接在电阻板底部的正极凸块、固定连接在电阻板底部的负极凸块、固定连接在支撑板顶部的正极柱、固定连接在支撑板顶部的负极柱、固定连接在支撑板顶部的若干竖板以及固定连接在竖板顶部靠近转轴一侧的水平设置的密封板;

正极柱和负极柱之间的距离等于正极凸块与负极凸块凸块之间的距离,并且正极柱和负极柱与转轴之间的距离等于正极凸块和负极凸块到转轴之间的距离,正极柱和负极柱的顶面与正极凸起和负极凸起的底面相互平齐,正极柱和负极柱能够与任一电阻板底部的正极凸起和负极凸起相互接触;

竖板的数量比蒸发块的数量少一,正极柱和负极柱与其中一蒸发块上的电阻板底部的正极凸起和负极凸起相互接触时,其余蒸发块顶面都与密封板底面相互接触,并且密封板将对应的蒸发块上的蒸发孔的顶部封堵住;

蒸发块为绝缘材质制成的绝缘蒸发块。

通过采用上述技术方案,在不同的蒸发块的蒸发孔当中放置不同的材料,先通过电机转动使得其中一蒸发块底部的正极凸起和负极凸起分别与正极柱和负极柱进行接触,蒸发块底部的正极凸起和负极凸起与正极柱和负极柱接触的时候,会对电阻板进行通电,从而使得电阻板上产生热量对材料进行蒸发,该蒸发块上的材料在进行蒸发的时候,其余蒸发块上的蒸发孔都会被密封板封堵住,从而不会对其中的材料造成污染,带进行蒸发的蒸发块中的材料蒸发完毕之后,电机带动转轴进行转动,使得下一蒸发块底部的正极凸起和负极凸起与正极柱和负极柱进行接触,对下一材料进行蒸发。

本实用新型进一步设置为:所述蒸发孔为圆锥孔,蒸发孔底部的直径小于蒸发孔顶部的直径。

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