[实用新型]蒸发真空镀膜机用蒸发装置有效

专利信息
申请号: 201921187138.1 申请日: 2019-07-26
公开(公告)号: CN210560698U 公开(公告)日: 2020-05-19
发明(设计)人: 傅志坚 申请(专利权)人: 青岛华磊真空镀膜有限公司
主分类号: C23C14/26 分类号: C23C14/26
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266000 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 蒸发 真空镀膜 装置
【权利要求书】:

1.一种蒸发真空镀膜机用蒸发装置,其特征在于:包括支撑板(1)、转动连接在支撑板(1)上的转轴(2)、固定连接在支撑板(1)底部的用于带动转轴(2)进行转动的电机(21)、固定连接在转轴(2)顶部外周上的若干围绕转轴(2)均匀分布的蒸发块(3)、沿竖直方向贯穿蒸发块(3)的蒸发孔(31)、固定连接在蒸发块(3)底部并且用于将蒸发孔(31)底部封堵住的电阻板(6)、固定连接在电阻板(6)底部的正极凸块、固定连接在电阻板(6)底部的负极凸块、固定连接在支撑板(1)顶部的正极柱(11)、固定连接在支撑板(1)顶部的负极柱(12)、固定连接在支撑板(1)顶部的若干竖板(4)以及固定连接在竖板(4)顶部靠近转轴(2)一侧的水平设置的密封板(41);

正极柱(11)和负极柱(12)之间的距离等于正极凸块与负极凸块凸块之间的距离,并且正极柱(11)和负极柱(12)与转轴(2)之间的距离等于正极凸块和负极凸块到转轴(2)之间的距离,正极柱(11)和负极柱(12)的顶面与正极凸起(61)和负极凸起(62)的底面相互平齐,正极柱(11)和负极柱(12)能够与任一电阻板(6)底部的正极凸起(61)和负极凸起(62)相互接触;

竖板(4)的数量比蒸发块(3)的数量少一,正极柱(11)和负极柱(12)与其中一蒸发块(3)上的电阻板(6)底部的正极凸起(61)和负极凸起(62)相互接触时,其余蒸发块(3)顶面都与密封板(41)底面相互接触,并且密封板(41)将对应的蒸发块(3)上的蒸发孔(31)的顶部封堵住;

蒸发块(3)为绝缘材质制成的绝缘蒸发块(3)。

2.根据权利要求1所述的蒸发真空镀膜机用蒸发装置,其特征在于:所述蒸发孔(31)为圆锥孔,蒸发孔(31)底部的直径小于蒸发孔(31)顶部的直径。

3.根据权利要求1所述的蒸发真空镀膜机用蒸发装置,其特征在于:所述蒸发孔(31)的内壁上固定连接有三组两两一组的导向杆(5),导向杆(5)沿蒸发孔(31)侧壁的倾斜方向设置。

4.根据权利要求3所述的蒸发真空镀膜机用蒸发装置,其特征在于:同一组的两导向杆(5)靠近蒸发孔(31)轴线的一侧固定连接有若干限位板(51),若干限位板(51)沿导向杆(5)的长度方向排布。

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