[实用新型]一种双频热等离子体射流发生装置有效
| 申请号： | 201921130481.2 | 申请日： | 2019-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN210899785U | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 詹霞;高建波;马艳玲;张书彦;贡志锋;林木楠 | 申请（专利权）人： | 东莞材料基因高等理工研究院;广东书彦材料基因创新科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H05K7/20 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 汤喜友 |
| 地址： | 523808 广东省东莞市松山湖*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种双频热等离子体射流发生装置，包括：装置本体，射频线圈、耐高温绝缘挡板、射频电源、射流源阴极、射流源阳极以及电弧电源；装置本体内形成有等离子体反应区；射频电源与射频线圈电连接；射频线圈用于电离放电气体；耐高温绝缘挡板设置在射频线圈与等离子体反应区之间；电弧电源分别与射流源阴极、射流源阳极电连接，射流源阴极和射流源阳极设置在等离子体反应区，射流源阴极和射流源阳极之间形成弧光放电区域，当预电离等离子体通过弧光放电区域后会产生热弧等离子体。该装置采用双频激励方式，通过对射频电源和电弧电源的组合调节，实现多场耦合控制，有助于等离子体的参数的分离控制，可以满足用户更多的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双频 等离子体 射流 发生 装置 | ||
【主权项】：
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