[实用新型]一种可调式菱形石英舟

摘要

本实用新型公开了一种可调式菱形石英舟，包括2个上槽棒、2个下槽棒和侧板，所述侧板上设置有2个上槽棒，所述上槽棒的下方设置有与之相对应的2个下槽棒，所述上槽棒与下槽棒形成梯形的，所述上槽棒与下槽棒上设置有固定槽，所述固定槽上设置有插片模块，所述插片模块能在固定槽上移动并且为可拆卸式的。本实用新型所提供的一种可调式菱形石英舟有益效果为：可以根据要求来放置硅片，使硅片的放置位置可调节，也方便了员工的操作。而且插片模块为可拆卸式的，可以根据插片模块的尺寸来选择相应的插片模块，增加了石英舟的实用性。