[实用新型]一种可调式菱形石英舟有效
申请号: | 201921114187.2 | 申请日: | 2019-07-16 |
公开(公告)号: | CN210325729U | 公开(公告)日: | 2020-04-14 |
发明(设计)人: | 常永喜;汤芳 | 申请(专利权)人: | 苏州浩锐石英科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215231 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 调式 菱形 石英 | ||
本实用新型公开了一种可调式菱形石英舟,包括2个上槽棒、2个下槽棒和侧板,所述侧板上设置有2个上槽棒,所述上槽棒的下方设置有与之相对应的2个下槽棒,所述上槽棒与下槽棒形成梯形的,所述上槽棒与下槽棒上设置有固定槽,所述固定槽上设置有插片模块,所述插片模块能在固定槽上移动并且为可拆卸式的。本实用新型所提供的一种可调式菱形石英舟有益效果为:可以根据要求来放置硅片,使硅片的放置位置可调节,也方便了员工的操作。而且插片模块为可拆卸式的,可以根据插片模块的尺寸来选择相应的插片模块,增加了石英舟的实用性。
技术领域
本实用新型涉及石英技术领域,更具体地说,本实用新型涉及一种可调式菱形石英舟。
背景技术
石英是地球表面分布最广的矿物之一,石英是硅石矿的主要矿物组分,含硅46.70%。有三方晶系的低温石英(α-石英)和六方晶系的高温石英(β-石英)之分。一般所称石英均指低温石英。三方晶系,晶体呈六方柱状,双晶很普遍。通常呈晶簇状、料状、块状集合体。呈多种颜色,无色透明者称为水晶,乳白色者称为乳石英,紫色者称为紫水晶,浅玫瑰色者称为蔷薇石英,烟色者称为烟水晶,褐色者称为茶晶等。玻璃光泽。硬度7,密度2.65g/cm3。不溶于除氢氟酸以外的任何酸。地壳中分布最广的矿物之一,为多种岩石和矿床的矿物组分。用于制造硅胶、水玻璃及各种硅化物和硅酸盐,用作塑料、橡胶的填料。还广泛用于玻璃、陶瓷、石油、冶金、铸造、建材等部门。
太阳能电池板使用的硅片大多使用石英舟装载进行加工的,现有的石英舟上大多设置有插片槽,插片槽是固定且不能够移动,从而使硅片的放置位置比较固定,能时此种结构的石英舟不能够适用多种厚度的石英硅片,使石英舟的适用性大大下降。
实用新型内容
针对上述现有的石英舟上大多设置有插片槽,插片槽是固定且不能够移动,从而使硅片的放置位置比较固定,能时此种结构的石英舟不能够适用多种厚度的石英硅片,使石英舟的适用性大大下降的问题,本实用新型要解决的技术问题是提供一种可调式菱形石英舟。
为了解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案是:
一种可调式菱形石英舟,包括2个上槽棒、2个下槽棒和侧板,所述侧板上设置有2个上槽棒,所述上槽棒的下方设置有与之相对应的2个下槽棒,所述上槽棒与下槽棒形成梯形的,所述上槽棒与下槽棒上设置有固定槽,所述固定槽上设置有插片模块,所述插片模块能在固定槽上移动并且为可拆卸式的。
上述方案的优选方案为:所述2个下槽棒之间设置有支撑横杆。
上述方案的优选方案为:所述插片模块包括插片槽、固定块和滑动块,所述固定块的上方设置有插片槽,所述固定块的下方设置有滑动块
上述方案的优选方案为:所述滑动块的两侧设置有夹持装置。
上述方案的优选方案为:所述侧板的一侧防错感应点。
与现有技术相比,本实用新型具有以下有益效果:本实用新型的一种可调式菱形石英舟,上槽棒与下槽棒上设置有固定槽,固定槽上设置有插片模块,所述插片模块能在固定槽上移动并且为可拆卸式的。插片模块能够在固定槽上移动,用于硅片插片的位置,可以根据要求来放置硅片,使硅片的放置位置可调节,也方便了员工的操作。而且插片模块为可拆卸式的,可以根据插片模块的尺寸来选择相应的插片模块,增加了石英舟的实用性。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为本实用新型中侧板的结构示意图;
图3为本实用新型中插片模块的结构示意图。
具体实施方式
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造