[实用新型]一种螺旋锥齿轮飞秒激光加工系统

摘要

一种螺旋锥齿轮飞秒激光加工系统，包括飞秒激光系统、导光组件、三维振镜系统、照明系统、精密移动系统、CCD监测系统；飞秒激光系统包括飞秒激光器、飞秒激光烧蚀头、激光器控制操作平台；导光组件与三维振镜系统共同构成光路；飞秒激光系统发出的激光及照明系统发出的照明光均沿所述光路传递；精密移动系统包括精密三维移动轴与控制平台，设置于光路出口处，上方固定有螺旋锥齿轮；CCD监测系统设置于照明光反射光路上；本实用新型采用极短脉冲宽度和极高峰值功率的飞秒激光，使得加工区域热影响区小、加工极其精确，因而提出的飞秒激光加工系统与精微修正方法具有加工效率高、加工精度高、联动性好等优点，适用于不同螺旋锥齿轮齿面的精微修正。