[实用新型]一种新型蒸镀设备有效
| 申请号： | 201921053414.5 | 申请日： | 2019-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN210176936U | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 王伟;陈培专;李仁龙;魏昌华;高翔 | 申请（专利权）人： | 绵阳金能移动能源有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;C23C14/56;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 贾晓燕 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型蒸镀设备，包括：蒸镀腔室，其被设置为由四个腔壁构成的矩形状结构；基板架，基板架上可拆卸式设置有一待蒸镀的基板；掩膜架，掩膜架可拆卸式固定设置有一蒸镀掩膜板；蒸镀台，蒸镀台上均布安装有多个与基板相配合的蒸镀源；其中，蒸镀腔室水平方向上的腔壁分别为第三腔壁以及第四腔壁，在蒸镀腔室内、第三腔壁与第四腔壁的一侧均还相配合设置有一气囊，各气囊上分别设置有一通气口，各通气口均通过一通气管进而与一充气泵连通，且通气管分别贯穿第三腔壁和第四腔壁。采用本实用新型的蒸镀装置使蒸镀均匀性好，同时易于实施与操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 设备 | ||
【主权项】：
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