[实用新型]一种新型蒸镀设备

说明书

本实用新型公开了一种新型蒸镀设备，包括：蒸镀腔室，其被设置为由四个腔壁构成的矩形状结构；基板架，基板架上可拆卸式设置有一待蒸镀的基板；掩膜架，掩膜架可拆卸式固定设置有一蒸镀掩膜板；蒸镀台，蒸镀台上均布安装有多个与基板相配合的蒸镀源；其中，蒸镀腔室水平方向上的腔壁分别为第三腔壁以及第四腔壁，在蒸镀腔室内、第三腔壁与第四腔壁的一侧均还相配合设置有一气囊，各气囊上分别设置有一通气口，各通气口均通过一通气管进而与一充气泵连通，且通气管分别贯穿第三腔壁和第四腔壁。采用本实用新型的蒸镀装置使蒸镀均匀性好，同时易于实施与操作。

技术领域

本实用新型涉及一种蒸镀设备。更具体地说，本实用新型涉及一种新型蒸镀设备。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二级管，简称OLED)显示屏由于具有薄、轻、宽视角、主动发光、发光颜色连续可调、成本低、响应速度快、能耗小、驱动电压低、工作温度范围宽、生产工艺简单、发光效率高及可柔性显示等优点，已被列为极具发展前景的下一代显示技术。

现有的有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)中许多结构的制备一般采用蒸镀的方式，即首先采用电流加热、电子束轰击加热和激光加热等加热方法，使被蒸镀材料蒸发成原子或分子的蒸镀蒸汽；其次，在掩膜版的作用下，蒸镀蒸汽扩散至基板的待沉积面的预定位置，最后，蒸镀蒸汽在预定位置内碰撞基片表面，并且凝结，从而形成不同的薄膜(例如R、G、B发光层的薄膜)。

现有技术的蒸镀设备为了避免由于蒸镀蒸汽沉积到蒸汽腔室的侧壁，或者其他不需要沉积的表面上而造成的蒸镀材料的浪费，一般会将蒸镀源与基板之间的距离调整小，然而，蒸镀源与基板之间的距离过小可能会导致基板上沉积的薄膜不均匀，从而会使产品良率降低，故在专利公开号为CN109161853A专利中，其将蒸镀腔室中的一个壁面设置为可移动式结构，进而使壁面移动后，压缩蒸镀腔室内的体积，使蒸汽分子的无规则运动更加剧烈，蒸汽分子可均匀的扩散到基板的待沉积位置，然而由于蒸镀腔室在工作过程中需要一直处于真空环境中，该专利将其采用可移动式结构，常规滑槽与滑轨的移动结构不可避免的会对气密性造成影响，故对需要装置设备以及移动结构的要求非常高，造成结构复杂同时加大生产制造难度。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。

为了实现根据本实用新型的这些目的和其它优点，提供了一种新型蒸镀设备，包括：

蒸镀腔室，其被设置为由四个腔壁构成的矩形状结构；

基板架，其固定设置于位于顶部的第一腔壁上，所述基板架上可拆卸式设置有一待蒸镀的基板；

掩膜架，其与所述基板架相配合、固定设置与所述第一腔壁上，所述掩膜架可拆卸式固定设置有一蒸镀掩膜板，其上开设有作为蒸镀图案的空槽且将所述基板覆盖；

蒸镀台，其固定设置于位于底部的第二腔壁上，所述蒸镀台上均布安装有多个与所述基板相配合的蒸镀源；

其中，所述蒸镀腔室水平方向上的腔壁分别为第三腔壁以及第四腔壁，在所述蒸镀腔室内、所述第三腔壁与所述第四腔壁的一侧均还相配合设置有一气囊，各所述气囊上分别设置有一通气口，各所述通气口均通过一通气管进而与一充气泵连通，且所述通气管分别贯穿所述第三腔壁和所述第四腔壁，两所述气囊的一侧均还设置有一隔热板，所述第一腔壁与所述第二腔壁上均还设置有与各所述隔热板相配合的滑槽，所述隔热板上设置有滚轮。

优选的是，其中，所述第三腔壁与所述第四腔壁在与所述通气管的贯穿位置处分别设置有一O型密封垫圈。

优选的是，其中，所述基板架与所述基板、以及所述掩膜架与所述蒸镀掩膜板的可拆卸固定方式为：