[实用新型]一种新型蒸镀设备

权利要求书

1.一种新型蒸镀设备，其特征在于，包括：

蒸镀腔室，其被设置为由四个腔壁构成的矩形状结构；

基板架，其固定设置于位于顶部的第一腔壁上，所述基板架上可拆卸式设置有一待蒸镀的基板；

掩膜架，其与所述基板架相配合、固定设置与所述第一腔壁上，所述掩膜架可拆卸式固定设置有一蒸镀掩膜板，其上开设有作为蒸镀图案的空槽且将所述基板覆盖；

蒸镀台，其固定设置于位于底部的第二腔壁上，所述蒸镀台上均布安装有多个与所述基板相配合的蒸镀源；

其中，所述蒸镀腔室水平方向上的腔壁分别为第三腔壁以及第四腔壁，在所述蒸镀腔室内、所述第三腔壁与所述第四腔壁的一侧均还相配合设置有一气囊，各所述气囊上分别设置有一通气口，各所述通气口均通过一通气管进而与一充气泵连通，且所述通气管分别贯穿所述第三腔壁和所述第四腔壁，两所述气囊的一侧均还设置有一隔热板，所述第一腔壁与所述第二腔壁上均还设置有与各所述隔热板相配合的滑槽，所述隔热板上设置有滚轮。

2.根据权利要求1所述的一种新型蒸镀设备，其特征在于，所述第三腔壁与所述第四腔壁在与所述通气管的贯穿位置处分别设置有一O型密封垫圈。

3.根据权利要求1所述的一种新型蒸镀设备，其特征在于，所述基板架与所述基板、以及所述掩膜架与所述蒸镀掩膜板的可拆卸固定方式为：

所述基板架与所述基板上均开设有相配合的第一通孔，所述掩膜架与所述蒸镀掩膜板上均开设有相配合的第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔内均穿设有一螺钉与螺母，所述螺钉包括：螺帽与螺杆；

其中，所述螺杆在靠近螺帽一端被设置为光滑面，远离所述螺帽一端被设置为螺纹面。

4.根据权利要求1所述的一种新型蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀台被设置为双层中空结构，所述蒸镀台的上侧内表面设置还设置有一呈锯齿形的冷却水管，所述冷却水管的一端与外部蓄水池连通，另一端与回收池连通。