[实用新型]石墨舟及使用该石墨舟的PECVD设备

摘要

本实用新型公开了一种石墨舟及使用该石墨舟的PECVD设备，包括多片纵向间隔排列的石墨舟片，所述石墨舟沿纵向分成多个子单元，相邻两个子单元的相邻两片石墨舟片之间填充绝缘材料，且每个子单元都设有独立电极形成单独的辉光区。本实用新型通过将石墨舟分为多个设有独立电极的子单元，形成多个单独的辉光区，使射频控制分开，实现独立控制辉光，因射频独立控制的区域变小，该区域所需的射频功率减小，在石墨舟的总功率翻倍的情况下，射频放电的波峰不变，便于控制，有效防止硅片与石墨舟卡点打火烧焦而造成的硅片报废。