[实用新型]石墨舟及使用该石墨舟的PECVD设备

说明书

本实用新型公开了一种石墨舟及使用该石墨舟的PECVD设备，包括多片纵向间隔排列的石墨舟片，所述石墨舟沿纵向分成多个子单元，相邻两个子单元的相邻两片石墨舟片之间填充绝缘材料，且每个子单元都设有独立电极形成单独的辉光区。本实用新型通过将石墨舟分为多个设有独立电极的子单元，形成多个单独的辉光区，使射频控制分开，实现独立控制辉光，因射频独立控制的区域变小，该区域所需的射频功率减小，在石墨舟的总功率翻倍的情况下，射频放电的波峰不变，便于控制，有效防止硅片与石墨舟卡点打火烧焦而造成的硅片报废。

技术领域

本实用新型涉及太阳能工艺设备领域，特别是涉及一种石墨舟及使用该石墨舟的PECVD设备。

背景技术

随着新能源行业的发展，太阳能作为人类取之不尽用之不竭的可再生能源，其特有的充分清洁性，绝对安全性，相对的广泛性，在长期的能源战略中具有重要的影响地位。PECVD设备作为太阳能电池片镀减反射膜的主要设备。其工作原理是利用等离子增强化学气相沉积法给硅片镀上一层减反射膜。石墨舟作为PECVD设备工艺的载体，石墨舟的大小和承载硅片的数量决定了设备完成一次镀膜的工艺能得到的镀膜后硅片的数量，此数量决定了设备的产能。

目前石墨舟承载硅片在进行工艺时，主要通过射频给石墨舟片在高频电流，再使反应室气体发生辉光放电，在辉光放电区域产生大量的电子，达到工艺反应条件。但目前光伏行业所用到的石墨舟舟片长度都没超过2米，舟片数量都没超过30片，单舟产能都有局限，主要存在的问题在于：石墨舟片数量超过30片后，在同等长度的情况下，舟片数量越多，石墨舟工艺放电需要的功率越高，射频电源波峰越高，越难控制，会造成硅片与石墨舟卡点打火烧焦，造成硅片报废。

实用新型内容

本实用新型为了解决上述现有技术中石墨舟片数量过多后射频控制功率过大辉光不稳的技术问题，提出一种石墨舟及使用该石墨舟的PECVD设备。

本实用新型采用的技术方案是：

本实用新型提出了一种石墨舟，包括多片纵向间隔排列的石墨舟片，所述石墨舟沿纵向分成多个子单元，相邻两个子单元的相邻两片石墨舟片之间填充绝缘材料，且每个子单元都设有独立电极形成单独的辉光区。

优选地，所述石墨舟片延长度方向为一个整体。

优选地，所述石墨舟片延长度方向分为间隔的多段，且间隔处填充导电材料。

优选地，所述石墨舟片延长度方向分为间隔的多段，且间隔处填充绝缘材料。

本实用新型还提出了一种PECVD设备，使用上述石墨舟。

与现有技术比较，本实用新型通过将石墨舟分为多个设有独立电极的子单元，形成多个单独的辉光区，使射频控制分开，实现独立控制辉光，因射频独立控制的区域变小，该区域所需的射频功率减小，在石墨舟的总功率翻倍的情况下，射频放电的波峰不变，便于控制，有效防止硅片与石墨舟卡点打火烧焦而造成的硅片报废；同时通过对石墨舟片沿长度方向进行多段拼接，可保证直线度，也可保证单个石墨舟片的导电性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的石墨舟的俯视图；

图2为本实用新型的石墨舟片的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。