[实用新型]一种注入机四极透镜底座有效
申请号: | 201921011803.1 | 申请日: | 2019-07-02 |
公开(公告)号: | CN210040119U | 公开(公告)日: | 2020-02-07 |
发明(设计)人: | 李春财;郭宝军 | 申请(专利权)人: | 吉林瑞能半导体有限公司 |
主分类号: | H01J37/317 | 分类号: | H01J37/317;H01J37/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 132013 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本实用新型是一种注入机四极透镜底座,结构包括本体和销钉,本体为中空的圆台型结构,其顶部设置有圆型凹槽,圆型凹槽的中心部位设有一圆型孔,销钉固定安装于圆型凹槽的底部,本实用新型通过改进注入机高压四极透镜支撑底座的结构,有效的解决了生产中进行高能量铝注入时,在高压绝缘部件容易产生高压打火问题,节省了维修成本,保证了工艺的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 圆型凹槽 本实用新型 四极透镜 注入机 销钉 圆台型结构 顶部设置 高压打火 高压绝缘 维修成本 支撑底座 高能量 圆型孔 中空的 底座 改进 保证 生产 | ||
【主权项】:
1.一种注入机四极透镜底座,其特征在于,结构包括本体和销钉,所述本体为中空的圆台型结构,所述本体的顶部设置有圆型凹槽,所述圆型凹槽的中心部位设有一圆型孔,所述销钉固定安装于圆型凹槽的底部,所述圆型凹槽上设置有两个螺纹孔一和一个螺纹孔二,所述两个螺纹孔一的尺寸相同,所述两个螺纹孔一的底部各设有一个圆形的凸台,所述本体的外侧面下部设置有六处向外凸起的长方块。/n
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